真空泵機油損失過多的故障如何排除
信息來源：本站 | 發(fā)布日期： 2020-04-17 09:35:20 | 瀏覽量：1481
真空泵的機油損失過多可能是由多種情況引起的，這些包括：真空泵損壞、過多的溶劑進入泵并排走油、氣鎮(zhèn)長時間打開、真空干燥機或泵本身泄漏。
在真空干燥中，良好的真空泵應能夠在清潔，干燥的真空干燥機中達到約10mT。當真空干燥機與泵隔離時，干燥機的泄漏率應小于約30mT/小時。如果無法達到這些條件，則應檢查干燥機以確保：
排水管無水、排水塞和排水軟管緊密配合、真空軟管和接頭緊密配合、設備頂部的衛(wèi)生夾已擰緊并密封、用另一個“已知良好”的泵代替真空泵進行測試、卸下歧管（如果適用），確保關閉管道。
系統(tǒng)性能也應檢查，執(zhí)行泄漏率測試以確定腔室是否有泄漏、使用軟件中的“泄漏測試”將真空測試點設置為150mT和60分鐘、如果泄漏率低于30mT/hr，則系統(tǒng)中存在泄漏，應進一步檢查。
如果泄漏率更好，為30mT/hr，則將驗證真空干燥機的完整性，并且真空泵可能已損壞，尤其是當系統(tǒng)干燥空空，真空泵未達到高低水平時。
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